近日，華遠(yuǎn)裝備自主研發(fā)的首臺鈣鈦礦疊層PVD量產(chǎn)/中試設(shè)備(DSL701)順利搬入客戶現(xiàn)場，標(biāo)志著華遠(yuǎn)裝備在鈣鈦礦太陽能電池領(lǐng)域邁出了實質(zhì)性的一步，進(jìn)一步鞏固了其在新能源裝備領(lǐng)域的領(lǐng)先地位。

此次交付的鈣鈦礦疊層PVD中試線設(shè)備(PED)是華遠(yuǎn)裝備針對異質(zhì)結(jié)-鈣鈦礦疊層技術(shù)路線精心開發(fā)的一款臥式設(shè)備。該設(shè)備年產(chǎn)能高達(dá)250MW，能夠高效地完成鈣鈦礦層前(P面100nm TCO，N面30nm TCO+20nm NiOx)和后(N面100nm TCO)的兩道工序。通過集成RPD技術(shù)，并配備低損平面靶和超強(qiáng)磁場，該設(shè)備實現(xiàn)了低損、低溫濺射，從而最大限度地提升了芯片效率。

作為華遠(yuǎn)裝備首臺集成了RPD+PVD技術(shù)的設(shè)備，DSL701的成功交付不僅展示了華遠(yuǎn)在鈣鈦礦太陽能電池技術(shù)研發(fā)方面的深厚實力，更標(biāo)志著其在異質(zhì)結(jié)疊加鈣鈦礦領(lǐng)域取得了實質(zhì)性的技術(shù)突破。這一里程碑式的成果為后續(xù)鈣鈦礦太陽能電池的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用奠定了堅實的基礎(chǔ)，也為華遠(yuǎn)裝備在新能源領(lǐng)域的發(fā)展注入了新的活力。