本發(fā)明涉及一種激光無損檢測薄膜特性的優(yōu)化參數(shù)確定方法,包括:利用有限元軟件ANSYS,建立薄膜襯底結構的雙層有限元模型;通過設置單脈沖分段函數(shù)在所建模型上實現(xiàn)對短脈沖激光激發(fā)超聲表面波的模擬;固定激光能量值、脈沖寬度值不變,改變激光聚焦線元寬度的取值,獲得表面波信號的最大位移幅值及表面波信號的最大色散頻率隨線元寬度變化而變化的規(guī)律;綜合分析表面波信號的幅值和頻域隨線元寬度變化而變化的規(guī)律,確定優(yōu)化的線元寬度值;固定聚焦的線元寬度為優(yōu)化的線元寬度值,改變脈沖激光的脈沖寬度得到表面波最大色散頻率隨著脈沖寬度的變化規(guī)律,利用該規(guī)律確定出最優(yōu)的激光脈沖寬度值。
聲明:
“激光無損檢測薄膜特性的優(yōu)化參數(shù)確定方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)