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      > 基于單對電極電容成像檢測技術(shù)提離效應(yīng)的缺陷判別方法

      基于單對電極電容成像檢測技術(shù)提離效應(yīng)的缺陷判別方法

      1035   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
      2023-03-19 08:58:08
      本發(fā)明公開了一種基于單對電極電容成像檢測技術(shù)提離效應(yīng)的缺陷判別方法,涉及無損檢測信號處理領(lǐng)域,包括:接收輸入的單對電極電容成像n次提離檢測信號,對所述Ln提離下求缺陷判別畸變率信號ΔYn=(Yn?Ybn)/Ybn,并將所述畸變率信號ΔYn輸入到低通濾波器;判斷低通濾波器輸出的ΔYn的絕對值是否大于等于預(yù)設(shè)閥值P0;如果是,判斷有缺陷存在;如果否,判斷缺陷不存在;當缺陷存在,判斷所述ΔYn是否小于0;如果是,判斷缺陷為非導(dǎo)體層表面缺陷;如果否,判斷ΔYn是否大于ΔYn?1;如果是,判斷缺陷為非導(dǎo)體層內(nèi)部缺陷;如果一直不存在ΔYn大于ΔYn?1,判斷缺陷為分界面缺陷。本發(fā)明通過對多提離檢測信號進行處理,進一步實現(xiàn)實時判別缺陷類型和實現(xiàn)報警。
      聲明:
      “基于單對電極電容成像檢測技術(shù)提離效應(yīng)的缺陷判別方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
      我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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