近日,長飛先進武漢基地項目迎來了重要里程碑——首批生產(chǎn)設(shè)備正式入駐光谷科學(xué)島,標志著該項目正加速推進,步入實質(zhì)性建設(shè)階段。
據(jù)了解,這批入駐的設(shè)備覆蓋了芯片制造的全鏈條,包括薄膜淀積、離子注入、光刻、刻蝕等關(guān)鍵環(huán)節(jié),為后續(xù)的量產(chǎn)奠定了堅實基礎(chǔ)。長飛先進武漢基地項目總投資預(yù)計超過200億元,占地面積約22.94萬平方米,建筑面積更是高達30.15萬平方米。項目主要聚焦于第三代半導(dǎo)體功率器件的研發(fā)與生產(chǎn),建設(shè)內(nèi)容包括晶圓制造廠房、封裝廠房、外延廠房、動力廠房、成品庫、綜合辦公樓、員工宿舍以及生產(chǎn)配套用房設(shè)施等,規(guī)模宏大,設(shè)施完善。
預(yù)計到2025年5月,長飛先進武漢基地將實現(xiàn)量產(chǎn)通線,屆時將年產(chǎn)36萬片碳化硅晶圓及外延、6100萬個功率器件模塊,這些產(chǎn)品將廣泛應(yīng)用于新能源汽車、光伏、儲能、充電樁等前沿領(lǐng)域,為推動相關(guān)產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展貢獻力量。
值得一提的是,近期除了長飛先進武漢基地外,還有多個碳化硅芯片/模塊項目也取得了顯著進展。例如,士蘭微旗下廈門士蘭明鎵化合物半導(dǎo)體有限公司的碳化硅功率器件生產(chǎn)線建設(shè)項目已經(jīng)通過驗收,新增了一條SiC產(chǎn)線,主要生產(chǎn)SiC功率芯片產(chǎn)品,年產(chǎn)能達到MOSFET芯片和SBD芯片各28.8萬片。另外,瑞福芯科技的“車規(guī)級SiC半導(dǎo)體功率模塊產(chǎn)業(yè)化項目”也正式落地東臺高新技術(shù)開發(fā)區(qū),投資規(guī)模在10-15億元之間,分兩期實施,首期投資已達3億元。
這些項目的順利推進,無疑將為中國碳化硅產(chǎn)業(yè)的發(fā)展注入新的活力。