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      > 脈沖激光鍍膜設備

      脈沖激光鍍膜設備

      脈沖激光鍍膜設備

      248
      規(guī)格/型號:PLD
      品牌:慧宇
      應用領域:材料制備
      產(chǎn)地:遼寧 - 沈陽
      廠家/供應商:沈陽慧宇真空技術有限公司
      咨詢電話::024-24323981(請說明信息源自“中冶有色技術網(wǎng)”)
      更新時間:2024-10-16
      級別:待認證

      脈沖激光鍍膜設備說明介紹

      脈沖激光鍍膜設備

      脈沖激光鍍膜設備

      脈沖激光鍍膜設備

      主要用途:

      用激光打在靶材上,制備超導薄膜、半導體薄膜、超硬薄膜等,是一種非常適用的鍍膜方式。

      結構特點:

      系統(tǒng)由球形結構的超高真空沉積室、樣品支持架、多工位激光轉(zhuǎn)靶、真空獲得、真空測量、氣路、PLC及電控系統(tǒng)等組成。

      技術指標:

      1、沉積室:球形?450mm,接換樣活門和激光入射窗口、樣品架及各種法蘭接口。

      2、真空度:分子泵系統(tǒng)極限真空:6.6×10-8Pa。

      3、樣品架組件:樣品尺寸2英寸,樣品加熱溫度:白金絲為加熱體,在有氧氣氣氛下800°C可長期使用。控溫精度:±1°C。樣品可自轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)數(shù)0-30轉(zhuǎn)/分;可交接、激光沉積和在線檢測位置。

      4、四工位激光轉(zhuǎn)靶:可安裝四塊2英寸靶材。每塊靶材可公轉(zhuǎn)到濺射位置并精確定位、自轉(zhuǎn),公轉(zhuǎn)、自轉(zhuǎn)均由步進電機驅(qū)動,自轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速0-30轉(zhuǎn)/分可調(diào)。

      5、氣路:質(zhì)量流量計控制(氧氣)
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      沈陽慧宇真空技術有限公司
      企業(yè)認證:
        
      所屬領域:
      材料制備
      企業(yè)性質(zhì):
      -
      經(jīng)營范圍:
      -
      聯(lián)系電話:
      024-24323981
      詳細地址:
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