SL-CVD是一款PECVD 管式爐系統(tǒng)。該系統(tǒng)包含等離子射頻電源,80mm OD1500mm L的管式爐,通道質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)和機(jī)械泵機(jī)組,可用于生長(zhǎng)納米或石墨烯材料。
生產(chǎn)方式:連續(xù)式;爐管材質(zhì):各類(lèi)不銹鋼、鎳基高溫合金、鈦材、石墨、石英、碳化硅等
該產(chǎn)品專(zhuān)業(yè)用于壓敏電阻、電容、BME-MLCC端電極、電子元件銅電極等類(lèi)似產(chǎn)品的高溫?zé)Y(jié)、熱處理。
1400℃雙溫區(qū)精密真空管式爐采用智能化程序溫控系統(tǒng),可控硅控制控溫精度高;高真空級(jí)法蘭密封,結(jié)合我司標(biāo)準(zhǔn)真空、混氣系統(tǒng),可抽真空通氣 氛;以?xún)?yōu)質(zhì)硅碳棒為加熱元件,采用智能化控溫系統(tǒng),可控硅控制控溫精度高;爐膛采用日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì) 1600 型氧化鋁多晶體纖維無(wú)機(jī) 材料拼搭結(jié)構(gòu),長(zhǎng)期使用不斷裂、垮塌;爐體為雙層爐殼,配有風(fēng)冷系統(tǒng),有效保證外殼表面溫度;內(nèi)置兩個(gè)溫區(qū),可營(yíng)造不同的溫度梯度。
1400℃三溫區(qū)真空管式爐采用智能化程序溫控系統(tǒng),可控硅控制,控溫精度高;高真空級(jí)法蘭密封,結(jié)合我司標(biāo)準(zhǔn)真空、混氣系統(tǒng),可抽真空通氣氛;以?xún)?yōu)質(zhì)硅碳棒為加熱元件,采用智能化控溫系統(tǒng),可控硅控制,控溫精度高;爐膛采用日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì) 1600 型氧化鋁多晶體纖維無(wú)機(jī)材料拼搭結(jié)構(gòu),長(zhǎng)期使用不斷裂、垮塌;爐體為雙層爐殼,配有風(fēng)冷系統(tǒng),有效保證外殼表面溫度;內(nèi)置三個(gè)溫區(qū),可營(yíng)造不同的溫度梯度。 ?
爐爐體為立式爐殼,其內(nèi)、外筒及法蘭均采用304不銹鋼做成,內(nèi)外筒與上下法蘭焊成一個(gè)整體,兩層之間形成夾套可以通水冷卻,可將傳到爐殼內(nèi)壁上的熱量帶走。爐體中間開(kāi)有抽氣孔、熱電偶測(cè)溫孔及觀察孔等。
生產(chǎn)方式:連續(xù)式;爐管材質(zhì):各類(lèi)不銹鋼、鎳基高溫合金、鈦材、石墨、石英、碳化硅等
該產(chǎn)品主要用于厚膜網(wǎng)絡(luò)、厚膜晶片電阻、加熱器、LTCC后燒、元器件、片式元器件燒銀、LED等行業(yè)的高溫?zé)Y(jié)和熱處理。獨(dú)特的氣氛系統(tǒng)設(shè)計(jì),尤其適用于高精度片式電阻的燒結(jié)。
該產(chǎn)品專(zhuān)業(yè)用于金屬管殼、電連接器、密封端子、鋰電池密封蓋、TO封裝等產(chǎn)品的熱處理工藝。
該產(chǎn)品專(zhuān)業(yè)用于功率半導(dǎo)體器件,如IGBT模塊、GTR模塊;功率控制線路及新式功率結(jié)構(gòu)單元;固態(tài)繼電器及高頻開(kāi)關(guān)模塊電源;變頻器交流無(wú)觸電開(kāi)關(guān);汽車(chē)電子、航空航天軍事技術(shù)等方面的結(jié)構(gòu)單元的高溫?zé)崽幚怼?/p>
該產(chǎn)品主要用于玻璃絕緣子排蠟?;?、電子元件電極、光伏薄膜電池等類(lèi)似產(chǎn)品的高溫?zé)Y(jié)、熱處理工藝。
設(shè)備主要用于厚膜產(chǎn)品的高溫?zé)Y(jié),包括厚膜電阻、介質(zhì)、導(dǎo)體的空氣氣氛燒成,電子元器件端頭燒銀等,也可用于其它產(chǎn)品的中溫?zé)崽幚怼?/p>
該產(chǎn)品專(zhuān)業(yè)用于厚膜、片式元件、太陽(yáng)能、功能陶瓷等行業(yè)的電子材料的烘干和排膠,使用紅外加熱或熱風(fēng)形式去除有機(jī)溶劑和水分。
該產(chǎn)品專(zhuān)業(yè)用于氧化鋯材料、壓電、壓敏、PTC、NTC、貼片天線、濾波器、硅、納米、電子元器件的排膠、預(yù)燒、燒結(jié)、退火等熱處理工藝。
專(zhuān)業(yè)用于磁性材料、微波鐵氧體、氧化鋯、先進(jìn)功能陶瓷、功率元件、HTCC等產(chǎn)品的燒結(jié)。
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