設備型號 |
JYZD1-4FR |
工作區(qū)尺寸 |
約Φ1000*1300mm(隔熱屏內尺寸)均溫區(qū)710W*550H*1000L |
隔熱屏 |
7層鉬組合,第一次厚度1mm,后六層>0.6mm |
最高溫度 |
1600℃ |
使用溫度 |
≤1450℃ |
控溫精度 |
≤±1℃ |
溫度均勻性 |
≤±3℃ |
極限真空度 |
≤2*10-4Pa(空爐、冷態(tài)潔凈、干燥除氣后工況) |
工作真空度 |
≤5*10-3Pa(工件放氣結束狀態(tài)) |
壓升率 |
≤0.3Pa/h |