金剛石氣相沉積爐
產(chǎn)品簡介:
該設(shè)備可以用于沉積高質(zhì)量的大面積金剛石膜,沉積的金剛石厚膜直徑達(dá)Φ280mm,涂層面積達(dá)(330×300)mm2,膜沉積速率為(4-20)μm/h
1.生長毫米級金剛石厚膜、金剛石薄膜、類金剛石膜、氮化硅和氧化硅膜等.
2.在切削刀具、鉆頭、絲錐等表面沉積金剛石薄膜。
設(shè)備特點:
1. 采用高壓拉瓦爾噴頭,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;
2. 采用先進(jìn)的控制技術(shù),能精密控制MTS的流量和壓力,爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定,壓力波動范圍??;
3. 設(shè)備自動化高,關(guān)鍵執(zhí)行電氣件采用進(jìn)口;操作直觀、簡便,觸摸屏經(jīng)過開發(fā),可動態(tài)顯示爐子運行狀況并具有自我診斷功能,程序段可直接輸入。
4. 配帶偏壓電源,有效提高沉積速度;