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      江蘇蘇青水處理工程集團(tuán)有限公司
      宣傳
      	

      



      	
	
      
		
      位置：中冶有色 > 有色產(chǎn)品 > 
      
		
		
		
		
		
		
       > 無損檢測(cè)設(shè)備
      
		
       > 光學(xué)輪廓儀/缺陷檢測(cè)儀
      
	
      

      

      
	
      
		
      
			
      
				
      
					光學(xué)輪廓儀/缺陷檢測(cè)儀
									
      
				
      
					
      
					    
      光學(xué)輪廓儀/缺陷檢測(cè)儀
      
					    
      
					         4503					    
      
					
      
					
					
      
					    
      規(guī)格/型號(hào)：Zeta-20/Zeta300型
      
					    
      品牌：KLA-Tencor / KLA
      
					
      
					
      
					    
      應(yīng)用領(lǐng)域：分析檢測(cè)
      
					    
      產(chǎn)地：上海 - 上海
      
					
      
					
      廠家/供應(yīng)商：納瑟（上海）納米科技有限公司
      
					
      咨詢電話:：18621896399（請(qǐng)說明信息源自“中冶有色技術(shù)網(wǎng)”）
      
					
      
					    
      更新時(shí)間：2023-05-16
      
					    
      級(jí)別：待認(rèn)證
      
					
      
				
      
			
      
							
      
					
      光學(xué)輪廓儀/缺陷檢測(cè)儀說明介紹
      
				
      
				
      
					
      
	光學(xué)輪廓儀 

      

      
	Zeta-20/Zeta300型-光學(xué)輪廓儀/缺陷檢測(cè)儀 

      

      
	
      
      

      

      
	
      
		光學(xué)輪廓儀/白光干涉儀/Zeta-300 Optical ProfilerZeta-300支持3D量測(cè)和成像的功能，并提供整合隔離工作臺(tái)和靈活的配置，可用于處理更大的樣品。該系統(tǒng)采用ZDot?技術(shù)，可同時(shí)采集高分辨率3D數(shù)據(jù)和True Color(真彩)無限遠(yuǎn)焦點(diǎn)圖像。Zeta-300具備Multi-Mode(多模式)光學(xué)系統(tǒng)、簡(jiǎn)單易用的軟件、以及低擁有成本，適用于研發(fā)及生產(chǎn)環(huán)境。
	
      
	
      
		
      
      
	
      
	
      
		光學(xué)輪廓儀/白光干涉儀/Zeta-300 Optical Profiler
	
      

      
Zeta-300支持3D量測(cè)和成像的功能，并提供整合隔離工作臺(tái)和靈活的配置，可用于處理更大的樣品。該系統(tǒng)采用ZDot?技術(shù)，可同時(shí)采集高分辨率3D數(shù)據(jù)和True Color(真彩)無限遠(yuǎn)焦點(diǎn)圖像。Zeta-300具備Multi-Mode(多模式)光學(xué)系統(tǒng)、簡(jiǎn)單易用的軟件、以及低擁有成本，適用于研發(fā)及生產(chǎn)環(huán)境。
      

      
產(chǎn)品描述
      

      
Zeta-300光學(xué)輪廓儀是一種非接觸式3D表面形貌測(cè)量系統(tǒng)。 Zeta-300繼承了Zeta-20的功能，并增加了隔離選項(xiàng)以及處理更大樣品的靈活性。 該系統(tǒng)采用ZDot?技術(shù)和Multi-Mode (多模式)光學(xué)系統(tǒng)，可以對(duì)各種不同的樣品進(jìn)行測(cè)量：透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的紋理，以及納米至毫米級(jí)別的臺(tái)階高度。
      

      
Zeta-300的配置靈活并易于使用，并集合了六種不同的光學(xué)量測(cè)技術(shù)。ZDot?測(cè)量模式可同時(shí)收集高分辨率3D掃描和True Color無限遠(yuǎn)焦距圖像。其他3D測(cè)量技術(shù)包括白光干涉測(cè)量、Nomarski干涉對(duì)比顯微鏡和剪切干涉測(cè)量。ZDot或集成寬帶反射計(jì)都可以對(duì)薄膜厚度進(jìn)行測(cè)量。Zeta-300也是一種高端顯微鏡，可用于樣品復(fù)檢或自動(dòng)缺陷檢測(cè)。 Zeta-300通過提供全面的臺(tái)階高度、粗糙度和薄膜厚度的測(cè)量以及缺陷檢測(cè)功能，適用于研發(fā)及生產(chǎn)環(huán)境。
      

      
主要功能
      

      
· 采用ZDot和Multi-Mode(多模式)光學(xué)器件的簡(jiǎn)單易用的光學(xué)輪廓儀，具有廣泛的應(yīng)用
      

      
· 可用于樣品復(fù)檢或缺陷檢測(cè)的高質(zhì)量顯微鏡
      

      
· ZDot：同時(shí)采集高分辨率3D數(shù)據(jù)和True Color(真彩)無限遠(yuǎn)焦點(diǎn)圖像
      

      
· ZXI：白光干涉測(cè)量技術(shù)，適用于z向分辨率高的廣域測(cè)量
      

      
· ZIC：干涉對(duì)比度，適用于亞納米級(jí)別粗糙度的表面并提供其3D定量數(shù)據(jù)
      

      
· ZSI：剪切干涉測(cè)量技術(shù)提供z向高分辨率圖像
      

      
· ZFT：使用集成寬帶反射計(jì)測(cè)量膜厚度和反射率
      

      
· AOI：自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)，并對(duì)樣品上的缺陷進(jìn)行量化
      

      
· 生產(chǎn)能力：通過測(cè)序和圖案識(shí)別實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)量
      

      
主要應(yīng)用
      

      
· 臺(tái)階高度：納米到毫米級(jí)別的3D臺(tái)階高度
      

      
· 紋理：平滑到非常粗糙表面的粗糙度和波紋度
      

      
· 外形：3D翹曲和形狀
      

      
· 應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力
      

      
· 薄膜厚度：30nm到100μm透明薄膜厚度
      

      
· 缺陷檢測(cè)：捕獲大于1μm的缺陷
      

      
· 缺陷復(fù)檢：采用KLARF文件作為導(dǎo)航以測(cè)量缺陷的3D表面形貌或切割道缺陷位置
      

      
工業(yè)應(yīng)用
      

      
· LED：發(fā)光二極管和PSS(圖案化藍(lán)寶石基板)
      

      
· 半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體
      

      
· 半導(dǎo)體 WLCSP(晶圓級(jí)芯片級(jí)封裝)
      

      
· 半導(dǎo)體FOWLP(扇出晶圓級(jí)封裝)
      

      
· PCB和柔性PCB
      

      
· MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))
      

      
· 醫(yī)療設(shè)備和微流體設(shè)備
      

      
· 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)
      

      
· 大學(xué)，研究實(shí)驗(yàn)室和研究所
      

      
· 還有更多：請(qǐng)與我們聯(lián)系以滿足您的要求

      				
      
						
      
				
      
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                    納瑟（上海）納米科技有限公司                
      
                
      
                    
      
                        企業(yè)認(rèn)證：
                        
      
                             
                            
                                  
                            
                             

                        
      
                    
      
                    
      所屬領(lǐng)域：
      分析檢測(cè)
      
                    
      企業(yè)性質(zhì)：
      -
      
                    
      
                        經(jīng)營(yíng)范圍：
                        
      
                            -                        
      
                    
      
                    
      聯(lián)系電話：
      18621896399
      
                    
      詳細(xì)地址：
      -
      
                
      
                
      
                     
                    
                                    
      
			
      
            
			
			
			
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      安徽霍桐儀器有限公司
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