KLA inano/ imicro型-納米壓痕儀

iMicro納米壓痕儀可輕松測量硬涂層，薄膜和少量材料。該儀器準確、靈活，并且用戶友好，可以提供壓痕、硬度、劃痕和通用納米級測試等多種納米級機械測試。 可互換的驅動器能夠提供大動態(tài)范圍的力荷載和位移，使研究人員能夠對軟聚合物到硬質金屬和陶瓷等材料做出精確及可重復的測試。模塊化選項適用于各種應用：材料性質分布、特定頻率測試、刮擦和磨損測試以及高溫測試。 iMicro擁有一整套測試擴展的選項，包括樣品加熱、連續(xù)剛度測量、NanoBlitz3D / 4D性質分布，以及Gemini 2D力荷載傳感器，可以提供摩擦和其他雙軸測量。

產品描述

iMicro采用InForce 1000驅動器進行納米壓痕和通用納米機械測試，并可選擇添加InForce 50驅動器來測試較軟的材料。InView軟件是一個靈活的現(xiàn)代軟件包，可以輕松進行納米級測試。iMicro是內置高速InQuest控制器和隔振門架的緊湊平臺。 可以測試金屬、陶瓷、復合材料、薄膜、涂層、聚合物、生物材料和凝膠等各種不同的材料和器件。

主要功能

InForce 1000驅動器，用于電容位移測量，并配有電磁啟動的可互換探頭

可選的InForce 50驅動器提供最大50mN的法向力來測量軟性材料，并提供可選的Gemini 2D力荷載傳感器用于雙軸動態(tài)測量。獨特的軟件集成探頭校準系統(tǒng)，可實現(xiàn)快速準確的探頭校準

InQuest高速控制器電子設備，具有100kHz數據采集速率和20μs時間常數

XY移動系統(tǒng)以及易于安裝的磁性樣品架

高剛度龍門架，集成隔振功能

帶數字變焦的集成顯微鏡，可實現(xiàn)精確的壓痕定位

ISO 14577和標準化測試方法

InView軟件包，包含RunTest、ReviewData、InFocus報告、InView大學在線培訓和InView移動應用程序

主要應用

硬度和模量測量(Oliver Pharr)

高速材料性質分布

ISO 14577硬度測試

聚合物tan delta，儲存和損耗模量

定量刮擦和磨損測試

樣品加熱

工業(yè)應用

大學、研究實驗室和研究所

半導體行業(yè)

PVD / CVD硬涂層(DLC，TiN)

MEMS(微機電系統(tǒng))/納米級通用測試

陶瓷和玻璃

金屬和合金

制藥

涂料和油漆

復合材料

電池和儲能

汽車和航空航天