該P(yáng)ECVD(等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng))系統(tǒng)，有多路質(zhì)量流量計(jì)系統(tǒng)(進(jìn)口流量計(jì))，真空機(jī)組(進(jìn)口真空泵)，PE射頻電源(進(jìn)口射頻源)，溫控系統(tǒng)等裝置構(gòu)成。使用PE源將氣源等離子化，有利于降低工藝溫度，同時(shí)擴(kuò)大工藝的使用條件，滿(mǎn)足更多的工藝實(shí)驗(yàn)要求，如石墨烯、碳納米管等，控制操作系統(tǒng)集成于觸摸屏操作面板上，便于操作與觀察。

技術(shù)參數(shù)：

雙溫場(chǎng)滑軌爐

主要特點(diǎn)：

滑軌式快速升溫爐是專(zhuān)為生長(zhǎng)石墨烯研制的石墨烯生長(zhǎng)專(zhuān)用爐，也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實(shí)驗(yàn)，這款設(shè)備是根據(jù)開(kāi)啟式真空管式爐改裝而來(lái)的，操作時(shí)可將實(shí)驗(yàn)需要的恒定高溫直接推到樣品處，使樣品能得到一個(gè)快速的升溫速度，同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處，使樣品直接暴露在室溫環(huán)境下，得到快速的降溫速率。

技術(shù)參數(shù)：

額定功率（KW）：4

額定電壓（V）：AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz

最高溫度（℃）：1200（1 hour）

持續(xù)工作溫度（℃）：1100

最大升& 降溫速率（℃/S）：≤20

爐管尺寸（mm）：高純石英管Φ50×1900（管徑可選）

加熱區(qū)長(zhǎng)度（mm） :230+230

恒溫區(qū)長(zhǎng)度（mm）：100+100

控溫方式：模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制具有超溫和斷偶報(bào)警功能

控溫精度（℃）：±1

密封系統(tǒng)：爐管兩端配304不銹鋼水冷密封法蘭（包括精密針閥，指針式真空壓力表，法蘭進(jìn)氣端配置兩個(gè)Φ6mm卡套進(jìn)氣口。

凈重（Kg）：80

射頻電源500W

信號(hào)頻率：13.56 MHz±0.005%

功率輸出范圍：L5W-500W

最大反射功率：200W

射頻輸出接口：50 Ω, N-type, female

功率穩(wěn)定度：±0.1%

諧波分量：≤-50dbc

供電電壓：?jiǎn)蜗嘟涣鳎?87V-253V）

頻率：50/60HZ

整機(jī)效率：>=70%

功率因素：>=90%

冷卻方式：強(qiáng)制風(fēng)冷

供氣系統(tǒng)

工作電壓：185~245V 50HZ

最大輸出功率：18W

流量計(jì)標(biāo)準(zhǔn)量程：100sccm，200sccm，200sccm，500sccm（非特殊指定以氮?dú)鈽?biāo)定，量程可選）

工作溫度：5~45℃

工作壓差：0.1~0.5MPa

最大壓力：3MPa

準(zhǔn)確度：±1.5% FS

測(cè)量范圍：-0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid）

針閥：316不銹鋼

混氣罐：Φ80×120mm

截止閥：Φ6mm”316不銹鋼針閥

尺寸：600×600×650 mm

低真空機(jī)組VAU-02

空氣相對(duì)濕度： ≤85%

工作電電壓：220V±10% 50~60HZ

抽氣速率：8m3/h

極限真空：4X10-2Pa

實(shí)驗(yàn)真空度：1.0X10-1Pa

容油量： 1.1L

進(jìn)氣口口徑：KF25

排氣口口徑：KF25

轉(zhuǎn)速：1450rpm

噪音：50dB

外型尺寸：600×600×600mm