致真精密儀器（青島）有限公司是以集成電路產(chǎn)線測(cè)試設(shè)備、高端科學(xué)儀器研發(fā)和生產(chǎn)為主要業(yè)務(wù)的國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)。在中國(guó)集成電路制造行業(yè)迅速發(fā)展、芯片研發(fā)和制造環(huán)節(jié)各類設(shè)備亟需自主可控的背景下，致真精密儀器通過(guò)自主創(chuàng)新、產(chǎn)學(xué)研合作及成果轉(zhuǎn)化、行業(yè)資源整合等手段對(duì)國(guó)內(nèi)尚未實(shí)現(xiàn)自主研發(fā)能力的相關(guān)高端儀器設(shè)備展開(kāi)工程攻關(guān)。 自 2019 年成立以來(lái)，公司已經(jīng)匯聚各類人才近百人，打造了光、電、精密機(jī)械、測(cè)控及自動(dòng)化、軟件和算法等工種齊全的工程團(tuán)隊(duì)，通過(guò)建設(shè)青島市集成電路測(cè)試設(shè)備專家工作站等方式，引進(jìn)專家級(jí)人才若干。公司在北京和杭州設(shè)有子公司。目前，公司面向磁性芯片和集成電路制造領(lǐng)域的需求，已經(jīng)研發(fā)了一系列國(guó)內(nèi)首臺(tái)套的高端設(shè)備，包括中國(guó)首臺(tái)商用磁光克爾顯微鏡、產(chǎn)業(yè)級(jí)晶圓磁光克爾測(cè)試儀等，產(chǎn)品已經(jīng)應(yīng)用于清華大學(xué)、中國(guó)科學(xué)院等國(guó)內(nèi)頂尖科研機(jī)構(gòu)和知名集成電路制造公司。致真精密儀器（青島）有限公司還應(yīng)邀參加由中冶有色技術(shù)平臺(tái)、中南大學(xué)、合肥工業(yè)大學(xué)、東北大學(xué)、河北科技大學(xué)、四川大學(xué)等單位聯(lián)合主辦的“第二屆全國(guó)先進(jìn)金屬功能材料制備/加工及應(yīng)用技術(shù)交流會(huì)”會(huì)議定于2023年3月17-19日在安徽省合肥市召開(kāi)，屆時(shí)邀請(qǐng)您共襄盛會(huì)~。

1、多功能高分辨磁光克爾顯微成像系統(tǒng)
型號(hào)：KMPL-Spin-X
磁光克爾顯微鏡是利用磁光克爾效應(yīng)，直接觀測(cè)磁性材料和器件中的磁化狀態(tài)的光學(xué)顯微成像設(shè)備。與傳統(tǒng)的電學(xué)測(cè)試相比，磁光克爾顯微成像測(cè)試能清晰直觀了解樣品內(nèi)的磁化狀態(tài)空間分布和時(shí)間演化，適用于磁性材料和自旋電子器件的測(cè)試和產(chǎn)品研發(fā)。
公司于2020年自主開(kāi)發(fā)出中國(guó)首款商用多功能磁光克爾顯微鏡測(cè)試系統(tǒng)。

2、晶圓級(jí)磁光克爾測(cè)量?jī)x
型號(hào)：Wafer-MOKE
利用極向磁光克爾效應(yīng)(MOKE)，快速全局檢測(cè)晶圓膜堆的磁性。非接觸式測(cè)量，避免了傳統(tǒng)磁性表征對(duì)晶圓的破壞，可應(yīng)用于圖形化前后的樣品檢測(cè)。高達(dá)2.5 T垂直磁場(chǎng)，可誘導(dǎo)垂直各向異性磁性隨機(jī)存儲(chǔ)器（MRAM）膜堆的自由層、參考層與釘扎層的翻轉(zhuǎn)；超高克爾檢出靈敏度，可以單次同時(shí)表征不同膜層的細(xì)微磁性變化。將激光逐點(diǎn)探測(cè)與掃描成像結(jié)合，可以快速創(chuàng)建晶圓磁特性全局圖譜，輔助工藝優(yōu)化與良率控制。

3、一維面內(nèi)磁場(chǎng)探針臺(tái)
型號(hào)：PS1DX-MS
設(shè)備用途：磁電阻測(cè)量、二次諧波、ST-FMR
領(lǐng)域：導(dǎo)體材料、微納米器件、磁性材料、自旋電子器件
技術(shù)指標(biāo)： 面內(nèi)磁場(chǎng)：最大0.5T@3cm磁極間距，1T@1.5cm磁極間距，磁場(chǎng)均勻性優(yōu)于 ±1%@2mm，分辨率優(yōu)于0.02mT，樣品尺寸 ≤30mm*30mm， 4探針或綁線直流測(cè)試座，支持樣品360°旋轉(zhuǎn)

4、科研級(jí)高精度磁滯回線測(cè)量?jī)x
型號(hào)：PL-MOKE
利用磁光克爾效應(yīng)，對(duì)鐵磁、人工反鐵磁、二維材料和微電子器件的磁性進(jìn)行高精度表征。能同時(shí)施加面內(nèi)和垂直磁場(chǎng)，對(duì)面內(nèi)磁化分量和垂直磁化分量進(jìn)行同時(shí)掃描，即能夠同時(shí)獲得面內(nèi)磁場(chǎng)/垂直磁場(chǎng)-面內(nèi)分量/垂直分量任意組合的磁滯回線。克爾轉(zhuǎn)角檢出精度高達(dá)0.3 mdeg（RMS），可檢測(cè)單原子層磁化強(qiáng)度。提供可綁線樣品托，可進(jìn)行電學(xué)-磁光特性的表征。


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第二屆全國(guó)先進(jìn)金屬功能材料制備/加工及應(yīng)用技術(shù)交流會(huì)
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