本發(fā)明涉及真空蒸發(fā)鍍鋁薄膜用蒸發(fā)元件及其制作方法,具體涉及一種鍍膜用C/h?BN復合蒸發(fā)舟及其制造方法,該復合蒸發(fā)舟的舟體由C/h?BN
復合材料制成,所述C/h?BN復合材料由多層六方氮化硼和石墨發(fā)熱體自上而下交替疊放并通過熱壓燒結(jié)成一整體,其特征在于:所述舟體表層為帶有蒸發(fā)槽的六方氮化硼燒結(jié)層,所述舟體底層為石墨發(fā)熱體,該石墨發(fā)熱體表面至少涂覆一層抗氧化熱阻涂層。本發(fā)明所述蒸發(fā)舟的電阻率相對穩(wěn)定、發(fā)熱穩(wěn)定,避免了因局部發(fā)熱不均而導致蒸發(fā)材料的濺射,提高了鍍膜質(zhì)量。同時由于六方氮化硼燒結(jié)層保護了舟體,延長了使用壽命。本發(fā)明所使用的抗氧化熱阻涂層,大幅度降低了石墨發(fā)熱體在真空環(huán)境下的熱輻射熱能散失,起到了節(jié)約電能的作用。
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“鍍膜用C/h-BN復合蒸發(fā)舟及其制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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