一種氯
硅烷體系微量硼、磷雜質(zhì)的吸附方法,包括以下步驟:一種由固體吸附材料負載離子液體的
復(fù)合材料,是將固體吸附材料作為支撐載體,將其與離子液體或者有機溶劑按比例混合均勻,進行研磨;所得混合物進行真空加熱干燥,得到以多孔材料為支撐載體的復(fù)合材料;所得復(fù)合吸附材料填充于吸附柱中,在高純氮氣下,將一定溫度、壓力的氯硅烷通入吸附柱;吸附柱出口收集處理后的氯硅烷,得到提純后的氯硅烷;復(fù)合吸附材料在一定溫度、壓力下進行氣體吹掃,進行脫附回收。本發(fā)明的硼、磷微量雜質(zhì)吸附劑實現(xiàn)了氯硅烷體系中存在的微量硼、磷雜質(zhì)的高效吸附;不經(jīng)過高溫處理,能耗低,工藝簡單;吸附劑循環(huán)利用,生產(chǎn)過程中廢物排放少,避免了環(huán)境污染。
聲明:
“氯硅烷體系微量硼、磷雜質(zhì)的吸附方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)