本發(fā)明涉及一種多元復(fù)合碳化物涂層的制備方法。它依次包括:(1)將TaCl
5、HfCl
4和ZrCl
4混合粉末,在惰性氣氛下盛裝入坩堝內(nèi);(2)將基體樣品放置在沉積爐支架上,并通入氬氣,加熱到沉積溫度;(3)將盛有混合粉末的坩堝放入雙溫區(qū)氣化爐中的低溫區(qū)的升降支架上,使坩堝口部與高溫區(qū)連通,設(shè)定低、高溫區(qū)的加熱溫度,加熱使混合粉末完全氣化;(4)向沉積爐內(nèi)通入H
2、CH
4,并以運(yùn)載氣體將完全氣化后的混合氣體通入沉積爐內(nèi),在常壓條件下進(jìn)行沉積。該制備方法能獲得各組成化學(xué)計(jì)量比準(zhǔn)確的多元復(fù)合涂層,且能保證涂層與基體材料結(jié)合緊密牢固、穩(wěn)定性能優(yōu)異。
聲明:
“多元復(fù)合碳化物涂層的制備方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)