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      薄膜鈮酸鋰器件

      831   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
      2023-03-18 21:08:59
      本實用新型公開了一種薄膜鈮酸鋰器件,所述薄膜鈮酸鋰器件由下至上依次包括襯底、緩沖層、鈮酸鋰層、絕緣層和熱電極,所述鈮酸鋰層為薄膜鈮酸鋰,所述鈮酸鋰層包括與熱電極對應(yīng)的熱調(diào)相移區(qū)以及沿第一方向位于熱調(diào)相移區(qū)兩側(cè)的鈮酸鋰波導(dǎo),所述第一方向為光傳導(dǎo)的方向;在鈮酸鋰層上設(shè)置有介質(zhì)波導(dǎo),所述介質(zhì)波導(dǎo)與熱電極位置對應(yīng)并且位于鈮酸鋰層和熱電極之間,所述鈮酸鋰波導(dǎo)和介質(zhì)波導(dǎo)共同構(gòu)成光波導(dǎo)。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實用新型的優(yōu)點在于:通過在熱電極的熱調(diào)相移區(qū)形成介質(zhì)波導(dǎo),能夠避免鈮酸鋰波導(dǎo)刻蝕產(chǎn)生的Z界面導(dǎo)致的熱光偏置相位的改變,從而提供一種消除熱電效應(yīng)電荷積累的熱光偏置結(jié)構(gòu),避免熱光偏置工作點漂移。
      聲明:
      “薄膜鈮酸鋰器件” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
      我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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