根據(jù)工業(yè)生產(chǎn)的實(shí)際需要,在散裝物料必須反向輸送和投加的地方,采用VRV雙向給料機(jī)。可根據(jù)需求提供電磁振動(dòng)/電機(jī)振動(dòng)。兩種驅(qū)動(dòng)器。
該P(yáng)ECVD(等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng))系統(tǒng),有多路質(zhì)量流量計(jì)系統(tǒng)(進(jìn)口流量計(jì)),真空機(jī)組(進(jìn)口真空泵),PE射頻電源(進(jìn)口射頻源),溫控系統(tǒng)等裝置構(gòu)成。使用PE源將氣源等離子化,有利于降低工藝溫度,同時(shí)擴(kuò)大工藝的使用條件,滿足更多的工藝實(shí)驗(yàn)要求,如石墨烯、碳納米管等,控制操作系統(tǒng)集成于觸摸屏操作面板上,便于操作與觀察。
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