提供一種用于半導(dǎo)體制造裝置的靜電吸盤組件,其可用水冷卻,并且不發(fā)生穿透泄漏。通過調(diào)節(jié)Cu基
復(fù)合材料中的具有大的熱膨脹系數(shù)的Cu和Ni以及具有小的熱膨脹系數(shù)的W和Mo的比,可以得到具有與用于靜電吸盤的
氧化鋁材料相同的熱膨脹系數(shù)的高熱導(dǎo)材料。但是,由于該復(fù)合材料具有穿透泄漏,不能在真空系統(tǒng)中使用。根據(jù)本發(fā)明,通過進(jìn)行鍛造處理,可防止擊穿泄漏。同時,通過電鍍或?yàn)R射施加Ni、Cr或Cu膜可改進(jìn)對冷卻板來說很重要的耐腐蝕性。
聲明:
“靜電吸盤組件和冷卻系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)