本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)與用以制造其的方法。半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)包含源極線結(jié)構(gòu)。源極線結(jié)構(gòu)包含形成于溝道中的
復(fù)合材料。復(fù)合材料包含氧化物部與金屬部。
聲明:
“半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)與用以制造其的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)