一種高可靠性的壓電半導(dǎo)體及其制備方法,所述壓電半導(dǎo)體包括壓電陶瓷、聚合物、叉指電極,所述壓電陶瓷先通過切割機切割成陣列結(jié)構(gòu),然后通過聚合物對陣列結(jié)構(gòu)進行填充并且同時將其置于呈鏡面對稱的2片叉指電極之間進行封裝,得到壓電
復(fù)合材料,所述壓電復(fù)合材料進行極化處理后得到壓電半導(dǎo)體;所述壓電陶瓷為(0.994?x)(K0.4Na0.6)Nb0.965Sb0.04503?0.006BiFe03?xBi0.5Na0.5ZrO3陶瓷,其中,x=0.01?0.05;所述聚合物為Dp?460環(huán)氧AB膠、JH灌漿樹脂、Adbest 360l、電子灌封膠GF?5中的一種。本發(fā)明所述的高可靠性的壓電半導(dǎo)體及其制備方法,結(jié)構(gòu)設(shè)計合理,制備方法簡單,厚度薄、重量輕、柔韌度高,由叉指電極、聚合物填充的壓電陶瓷、叉指電極組成的壓電半導(dǎo)體,具有更好的溫度穩(wěn)定性以及熱老化穩(wěn)定性和經(jīng)時穩(wěn)定性,應(yīng)用前景廣泛。
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“高可靠性的壓電半導(dǎo)體及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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