掃描電鏡薄樣品透射過濾-反射接收式襯度分離成像方法屬于掃描電鏡成像技術(shù)領(lǐng)域,其特征在于,薄樣品采用懸臂梁式單端固定狀態(tài),薄樣品厚度在50~1000nm之間,透射成像方式減小了入射電子在樣品中的多重非彈性散射,增強了低能真二次電子和高能彈性背散射電子的發(fā)射幾率,分離了形貌襯度與通道襯度,形貌襯度與成分襯度,加速電壓為5~15kV,入射電流為10-9~10-11A,工作距離為5~15mm,獲得增強的單一襯度的二次電子像和背散射電子像,樣品厚度控制在透射電鏡觀察用薄膜樣品的二倍以上,使薄樣品易于制備,適于各類掃描電鏡及多種薄樣品,如金屬及合金,
復(fù)合材料,半導(dǎo)體及外延層,陶瓷,有機物及
納米材料。
聲明:
“掃描電鏡薄樣品透射過濾-反射接收式襯度分離成像方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)