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      平面半導體氣體傳感器芯片及其制備方法

      986   編輯:管理員   來源:中冶有色技術網(wǎng)  
      2023-03-18 17:43:36
      本發(fā)明涉及氣敏元件的制備,更涉及一種平面半導體氣體傳感器芯片及其制備方法。所述方法是將介孔Pd?SnO2復合材料懸濁液滴加到叉指電極上,進行煅燒,再經(jīng)冷卻后即得。本發(fā)明提供的半導體氣體傳感器電阻下降至1M以下,氣敏響應上升至90%以上;同一批次樣品同一煅燒溫度下氣敏元件電阻相差不大,滿足后續(xù)儀器儀表要求的一致性,節(jié)約時間、成本等;所述氣體傳感器芯片對H2有較好的穩(wěn)定性;增強了芯片表面材料的穩(wěn)固性,使其在后續(xù)儀器儀表組裝、封裝過程中氣敏材料不容易掉落;所述氣體傳感器芯片真空無氧煅燒后電極鈍化,使其不受外界環(huán)境影響。
      聲明:
      “平面半導體氣體傳感器芯片及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
      我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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