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      薄膜鈮酸鋰基集成芯片及制備方法
      
					
      
					     938  
					    編輯：管理員  
						來源：中冶有色技術網(wǎng)  
						
      
							2023-03-18 21:15:14						
      
					
      
				
      
				
      
				    本發(fā)明公開了一種薄膜鈮酸鋰基集成芯片及制備方法，其襯底材料為硅基薄膜鈮酸鋰，波導為鈮酸鋰脊形波導，其結構包括輸入輸出端口、馬赫曾德爾電光強度調制器、耦合雙環(huán)諧振器，馬赫曾德爾調制器包含2個1×2多模干涉耦合器、兩個調制臂和一個GSG電極，耦合雙環(huán)諧振器的兩個耦合區(qū)采用基于馬赫曾德爾干涉結構的耦合系數(shù)調諧單元，耦合區(qū)和腔內設置調控電極；射頻信號通過調制器加載到光載波上，后經(jīng)過諧振器處理，輸出的信號通過輸出端輸出到探測器或者其他單元芯片，從而實現(xiàn)包括濾波、延時等的功能。本發(fā)明通過將電光調制器與微環(huán)諧振器集成，實現(xiàn)濾波與延時功能，且采用全硅基薄膜鈮酸鋰材料，擁有大帶寬、快速調諧的優(yōu)勢。				    
      
				        
      聲明：
      
				        
      
				         “薄膜鈮酸鋰基集成芯片及制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。
				        
      
				        
      
				        我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
				        
      
				    
      
				
      
				
				
      
					
      
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      標簽：
      
					 
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