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      壓電性單晶基板與支撐基板的接合體

      998   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
      2023-03-18 23:11:38
      本發(fā)明在由鈮酸鋰等形成的壓電性單晶基板1(1A)與支撐基板3的接合體8(8A)中,抑制加熱時的接合體的翹曲。接合體8(8A)具備:支撐基板3;壓電性單晶基板1(1A),所述壓電性單晶基板1(1A)由選自由鈮酸鋰、鉭酸鋰以及鈮酸鋰-鉭酸鋰構(gòu)成的組中的材質(zhì)形成;以及非晶質(zhì)層7,所述非晶質(zhì)層7包含選自由鈮和鉭構(gòu)成的組中的一種以上金屬原子、構(gòu)成支撐基板3的原子以及氬原子,且存在于支撐基板3與壓電性單晶基板1(1A)之間。非晶質(zhì)層7的中央部的氬原子的濃度高于非晶質(zhì)層7的周緣部的氬原子的濃度。
      聲明:
      “壓電性單晶基板與支撐基板的接合體” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
      我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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