將由具有相對(duì)的2個(gè)主面的厚50μm、寬0.5m、長(zhǎng)2mm的長(zhǎng)方形的鈮酸鋰構(gòu)成的壓電基板2a、2b的主面之間以極化軸的方向成為相互相反的方向進(jìn)行接合,構(gòu)成壓電元件2。將由鈮酸鋰構(gòu)成的支持體4a、4b與壓電元件2的一端直接接合。在壓電元件2的相對(duì)的2個(gè)主面和支持體4a、4b上連續(xù)地形成由厚度0.2μm的鉻-金構(gòu)成的電極3a、3b,構(gòu)成懸臂梁結(jié)構(gòu)的雙壓電晶片式機(jī)-電變換元件1。從而,構(gòu)成本發(fā)明的加速度傳感器。
聲明:
“加速度傳感器,其制造方法和用該傳感器的沖擊檢測(cè)裝置” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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