本實(shí)用新型公開了一種半導(dǎo)體設(shè)備的鋁制加熱器蓋板的陶瓷提升銷,包括:蓋板本體,所述蓋板本體的內(nèi)部設(shè)有錐形結(jié)構(gòu)的銷孔且蓋板本體的下部設(shè)有加熱器,所述銷孔延伸至加熱器內(nèi)部且銷孔內(nèi)部設(shè)有限位擋圈,所述銷孔內(nèi)安裝有提升銷本體且提升銷本體由銷帽和銷桿組成,所述銷帽呈圓錐形結(jié)構(gòu)設(shè)置且銷桿呈圓柱形結(jié)構(gòu)設(shè)置。本實(shí)用新型中的提升銷本體采用陶瓷材料制成,且由銷桿和銷帽組成,銷帽呈錐形結(jié)構(gòu)設(shè)置并與銷桿之間一體成型,錐形結(jié)構(gòu)的銷帽能夠與銷孔之間貼合,從而減小了間隙,防止制造過程中有大量氣體從銷帽跟加熱器蓋板間隙流入帶走一些熱量,預(yù)防銷帽處溫度較低,鉭酸鋰晶圓提升銷點(diǎn)位置厚度低的問題。
聲明:
“半導(dǎo)體設(shè)備的鋁制加熱器蓋板的陶瓷提升銷” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)