本發(fā)明提出了一種碳/碳
復合材料PECVD承載框的制備方法。與傳統(tǒng)石墨材質的承載框相比,碳/碳復合材料力學性能優(yōu)于石墨,而且能夠適應PECVD高溫,高真空度,等離子體濺射等惡劣的鍍膜環(huán)境。此外,本發(fā)明采取CVI(化學氣相沉積)工藝制備的碳/碳板材力學性能更佳,碳/碳復合材料承載框表面沉積碳化硅涂層后,承載框的耐酸洗性能得到增強,進而大大減少了承載框更換頻次,提高了其使用壽命。
聲明:
“碳/碳復合材料PECVD承載框的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)