本發(fā)明公開了一種原子力顯微鏡探針及其制備方法,所述探針為圓錐體結(jié)構(gòu),且所述探針由
復(fù)合材料制得,所述復(fù)合材料的原料組分及各組分的質(zhì)量份如下:對紫外光敏感的聚合物:80份~90份;金顆粒:5份~10份;鎳顆粒:5份~10份。本發(fā)明提供的一種原子力顯微鏡探針及其制備方法,既可以增加探針韌性,又可以保證其硬度,從而延長探針壽命。同時(shí)該探針具有高深寬比,可以探測相應(yīng)的高深寬比溝槽。
聲明:
“原子力顯微鏡探針及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)