本發(fā)明涉及一種基于薄膜熱電器件供電的壓力傳感系統(tǒng)及其制備方法,首先利用磁控濺射技術(shù)制備薄膜熱電器件,通過對薄膜熱電器件熱端封裝高導(dǎo)熱率的導(dǎo)熱
復(fù)合材料,冷端引入水凝膠作為散熱器,當(dāng)薄膜熱電器件貼附熱源進(jìn)行發(fā)電時,可實(shí)現(xiàn)與環(huán)境之間大溫差的建立;通過激光雕刻技術(shù)控制有機(jī)高分子薄膜材料微結(jié)構(gòu)尺寸,采用磁控濺射技術(shù)控制Ag/Ti導(dǎo)電薄膜的厚度進(jìn)而調(diào)控導(dǎo)電薄膜材料的電阻,實(shí)現(xiàn)高靈敏低工作電流壓力傳感器的組裝;最后將薄膜熱電器件與壓力傳感器進(jìn)行集成后,利用具有高輸出電壓(15.8mV)的柔性薄膜熱電器件貼于人體皮膚進(jìn)行發(fā)電,并供電壓力傳感器,得到自供電的壓力傳感系統(tǒng),并可用于人體脈搏的實(shí)時監(jiān)測。
聲明:
“基于薄膜熱電器件供電的壓力傳感系統(tǒng)及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)