本發(fā)明涉及一種熱釋電鉭酸鋰LiTa3O8薄膜及其溶膠-凝膠法制備工藝。本發(fā)明提供一種新組份的熱釋電鉭酸鋰LiTa3O8薄膜,比普通的鉭酸鋰LiTaO3薄膜,具有更小的漏電電流,能承受更高的極化電壓。除具有非制冷的熱釋電特性外,鉭酸鋰LiTa3O8薄膜還具有良好的鐵電、壓電、電光和非線性光學(xué)特性,利用其一種或幾種特性可制作功能器件。本發(fā)明所述制備鉭酸鋰LiTa3O8薄膜的溶膠-凝膠工藝:以鉑金基底或硅單晶為基底,以高純度金屬鋰和乙醇鉭為原料,以乙二醇甲醚為溶劑,氬氣保護(hù)下制備LiTa3O8溶膠,通過(guò)在基底上旋轉(zhuǎn)涂膜得到LiTa3O8濕膜,對(duì)濕膜快速熱退火得到0.2~5μm厚LiTa3O8薄膜。
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“熱釋電鉭酸鋰LiTa3O8薄膜及其制備工藝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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