本發(fā)明屬于新能源
鋰電池負(fù)極材料技術(shù)領(lǐng)域,具體的說(shuō),涉及一種用于鋰電池的氮化錫/硅負(fù)極材料及其制備方法,所述的制備方法包括:(1)在片層狀的
多晶硅片表面噴涂碳化硅粉末,形成高度為5?10μm的凸起結(jié)構(gòu);(2)在步驟(1)的多晶硅表面沉積形成納米氮化錫薄膜;(3)施加包含四氟化碳、氮?dú)夂蜌鍤獾臍怏w混合物形成的高密度等離子體蝕刻步驟(2)中的多晶硅表面,即得所述的氮化錫/硅負(fù)極材料;本發(fā)明提供的氮化錫/硅負(fù)極材料,通過(guò)噴涂在多晶硅片表面的碳化硅顆粒及沉積形成的納米氮化錫薄膜形成了復(fù)合的骨架結(jié)構(gòu),結(jié)合碳化硅具有較小的熱膨脹系數(shù),導(dǎo)熱性能良好,有效的減小了硅負(fù)極材料的體積效應(yīng)。
聲明:
“用于鋰電池的氮化錫/硅負(fù)極材料及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)