一種三明治結(jié)構(gòu)硅基薄膜材料,由金屬層、硅層和金屬層構(gòu)成疊層三明治結(jié)構(gòu),金屬層薄膜的厚度為20-100nm、Si層薄膜的厚度為60nm-9.8μm;其制備方法是:采用金屬層的金屬靶、Si層的硅靶、金屬層的金屬靶交替濺射工藝,在基底上先制備金屬導(dǎo)電附著層薄膜,然后制備硅薄膜,最后在硅薄膜表面覆蓋金屬薄層,形成三明治結(jié)構(gòu)。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是:三明治結(jié)構(gòu)硅基薄膜用作
鋰電池負(fù)極材料,有效抑制了硅基材料在鋰離子脫/嵌過程中較大的體積變化,具有較高的能量密度、循環(huán)穩(wěn)定性和倍率性能;該方法工藝簡單,成本較低,有望應(yīng)用于高能、高功率的薄膜電池中。
聲明:
“三明治結(jié)構(gòu)硅基薄膜材料及其制備方法和應(yīng)用” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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