一種工藝過程,用來制作單晶鈮酸鋰薄膜或單晶鉭酸鋰薄膜材料。在進(jìn)行晶片鍵合后,利用離子注入造成損傷層的晶格強度降低,以及二氧化硅層與鈮酸鋰(鉭酸鋰)晶體熱膨脹系數(shù)的差別,選擇合適的熱處理過程,在晶片組內(nèi)部形成應(yīng)力,從而將薄膜剝離。采用此工藝過程可大大降低離子注入劑量,從而降低生產(chǎn)成本,提高薄膜質(zhì)量。
聲明:
“薄膜材料的剝離方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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