提供一種能夠?qū)⒂赦壦徜嚭?或鉭酸鋰構(gòu)成的壓電性材料層牢固地接合于由莫來石構(gòu)成的支撐基板上的微結(jié)構(gòu)。作為解決方案,提供一種具備支撐基板(3)以及壓電性材料層(2)的接合體(1)。支撐基板(3)由莫來石構(gòu)成,壓電性材料層(2)的材質(zhì)為LiAO
3,其中,A為選自由鈮和鉭構(gòu)成的組中的一種以上的元素。具備:沿著支撐基板(3)與壓電性材料層(2)之間的界面而存在的界面層(4)、以及存在于界面層(4)與支撐基板(3)之間的支撐基板側(cè)中間層(5)。界面層(4)以及支撐基板側(cè)中間層(5)分別以選自由鈮和鉭構(gòu)成的組中的一種以上的元素、氧、鋁和硅作為主成分。
聲明:
“接合體以及彈性波元件” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)