本發(fā)明提供了一種廢舊晶圓的再生方法,所述再生方法包括以下步驟:(1)挑選可再生不良晶圓,使用混合酸對(duì)所述不良晶圓進(jìn)行腐蝕;(2)對(duì)步驟(1)腐蝕后的晶圓進(jìn)行堿洗和水洗;(3)對(duì)步驟(2)水洗后的晶圓進(jìn)行拋光處理,經(jīng)最終清洗后得到再生晶圓;其中,所述晶圓的材料包括鉭酸鋰和/或鈮酸鋰,本發(fā)明采用先酸腐蝕、堿洗、拋光后再藥液清洗的方法對(duì)廢舊晶圓進(jìn)行再生可以去除
芯片上的金屬電路和一些光刻膠的殘膠,同時(shí)避免晶圓表面的酸和殘膠的殘留,回收再生的晶圓可以實(shí)現(xiàn)直接應(yīng)用,大大節(jié)約了生產(chǎn)成本。
聲明:
“廢舊晶圓的再生方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)