提供一種化學(xué)機(jī)械拋光墊,其含有具有拋光表面的拋光層;和端點(diǎn)檢測(cè)窗;其中所述端點(diǎn)檢測(cè)窗包含包括以下的成分的反應(yīng)產(chǎn)物:具有5.5到9.5重量%的未反應(yīng)的NCO基團(tuán)的異氰酸酯封端的氨基甲酸酯預(yù)聚物,其中所述異氰酸酯封端的氨基甲酸酯預(yù)聚物是包含以下的成分的反應(yīng)產(chǎn)物:脂肪族多官能異氰酸酯;和預(yù)聚物多元醇;和固化劑系統(tǒng),其包含:0到99重量%的雙官能固化劑;和1到100重量%的胺起始的多元醇固化劑,其每分子具有至少一個(gè)氮原子并且每分子具有平均至少三個(gè)羥基。還提供制造和使用所述化學(xué)機(jī)械拋光墊的方法。
聲明:
“具有清晰端點(diǎn)檢測(cè)窗的化學(xué)機(jī)械拋光墊” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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