本發(fā)明涉及一種化學(xué)氣相沉積液體源材料的監(jiān)測(cè)裝置,所述的裝置包括液體源瓶、托盤、重量傳感器、截止閥、柔性金屬軟管、真空規(guī)。液體源瓶用于盛裝化學(xué)氣相沉積鍍膜的反應(yīng)源材料;液體源瓶放置在托盤上,托盤固定在重量傳感器上。所述的重量傳感器通過監(jiān)測(cè)托盤和液體源瓶總重量的變化,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)液體源的剩余量;液體源瓶進(jìn)出口安裝自動(dòng)截止閥,自動(dòng)截止閥的另一端通過柔性金屬軟管和化學(xué)氣相沉積鍍膜系統(tǒng)連接;所述的真空規(guī)和柔性金屬軟管連接,用于監(jiān)測(cè)柔性金屬軟管內(nèi)的真空度。所述的化學(xué)氣相沉積源材料監(jiān)控裝置,實(shí)現(xiàn)了化學(xué)反應(yīng)液體源瓶?jī)?nèi)剩余材料的監(jiān)控,可有效提高化學(xué)氣相沉積源材料使用效率和安全性。
聲明:
“化學(xué)氣相沉積液體源材料的監(jiān)測(cè)裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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