一種缺陷原因分析方法,包括首先提供一樣本,該樣本的上表面上具有多個(gè)缺陷;接著進(jìn)行一缺陷檢測(cè),以檢測(cè)出該缺陷的大小及位置;對(duì)該樣本進(jìn)行一化學(xué)組成分析;再根據(jù)該化學(xué)組成分析的結(jié)果來(lái)進(jìn)行一圖譜分析;最后根據(jù)該圖譜分析的結(jié)果來(lái)判別該缺陷產(chǎn)生的原因。
聲明:
“缺陷原因分析的方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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