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      化學氣相沉積反應腔裝置及具有其的化學氣相沉積設備
      
					
      
					     708  
					    編輯：管理員  
						來源：中冶有色技術網(wǎng)  
						
      
							2023-03-19 06:55:29						
      
					
      
				
      
				
      
				    本發(fā)明提出一種化學氣相沉積反應腔裝置，包括：腔室本體，腔室本體內(nèi)限定有反應腔室；上陪片，上陪片固定在反應腔室內(nèi)，且上陪片設有至少一個檢測通孔；托盤，托盤位于上陪片之下；旋轉機構，旋轉機構與托盤相連，且旋轉機構用于驅動托盤旋轉；和檢測儀，檢測儀設在腔室本體外且與上陪片的至少一個檢測通孔對應。本發(fā)明還提出一種化學氣相沉積設備。根據(jù)本發(fā)明的化學氣相沉積反應腔裝置能夠降低檢測儀的檢測難度，提高檢測精度。應用本發(fā)明的化學氣相沉積設備使溫度和成膜厚度檢測更為精確，且節(jié)省檢測時間。另外，本發(fā)明實現(xiàn)簡單，成本低。				    
      
				        
      聲明：
      
				        
      
				         “化學氣相沉積反應腔裝置及具有其的化學氣相沉積設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。
				        
      
				        
      
				        我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
				        
      
				    
      
				
      
				
				
      
					
      
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      標簽：
      
					 
					化學分析
									
      
				
				
				
				
								
								
				
				
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