一種具有化學(xué)試劑循環(huán)的清潔裝置,其中可以防止由清潔過(guò)程產(chǎn)生的氣泡引起的空氣侵入到循環(huán)路徑中的設(shè)備氣閘。當(dāng)化學(xué)試劑從溢流罐排出時(shí),螺旋渦流可以根據(jù)液位在出口附近產(chǎn)生。提供液位檢測(cè)傳感器,以檢測(cè)液位已到達(dá)沒(méi)有產(chǎn)生螺旋渦流的位置,該位置略高于液面高度。當(dāng)化學(xué)試劑被存儲(chǔ)在溢流罐中時(shí),進(jìn)行化學(xué)藥劑清洗,從而在從溢流罐排出的化學(xué)試劑中產(chǎn)生氣泡或混合到螺旋渦流中或發(fā)送到化學(xué)試劑儲(chǔ)存罐的一側(cè)。
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