本揭示提供化學(xué)氣相沉積裝置維護(hù)保養(yǎng)方法,其特征在于,包括步驟S10:通過(guò)氣體吹掃,篩選出符合測(cè)試要求的擴(kuò)散器;步驟S20:設(shè)定檢測(cè)規(guī)格的預(yù)設(shè)值,通過(guò)微粒測(cè)量?jī)x對(duì)所述擴(kuò)散器進(jìn)行微粒檢測(cè);步驟S30:將所述擴(kuò)散器裝配到化學(xué)氣相沉積裝置,進(jìn)行試驗(yàn)生產(chǎn);以及步驟S40:所述化學(xué)氣相沉積裝置進(jìn)行正式生產(chǎn),并持續(xù)對(duì)所述化學(xué)氣相沉積裝置進(jìn)行微粒檢測(cè)。通過(guò)檢測(cè)廠商維護(hù)保養(yǎng)后擴(kuò)散器的維護(hù)保養(yǎng)品質(zhì),增加化學(xué)氣相沉積裝置維護(hù)保養(yǎng)的成功率。
聲明:
“化學(xué)氣相沉積裝置維護(hù)保養(yǎng)方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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