本發(fā)明公開了一種
電化學(xué)超微組合電極及其制備方法。本發(fā)明采用光刻技術(shù)將超微電極圖形轉(zhuǎn)移至基片上后,再次甩涂光刻膠,以光刻膠直接作為絕緣包封層,曝光將電極尖端部分的光刻膠刻蝕掉,形成微電解槽。此方法制作步驟相對(duì)簡(jiǎn)單,可一次性大量制備,并保證了電極暴露面積精確可控。制作得到的微電解槽在實(shí)驗(yàn)測(cè)試中顯示出高傳質(zhì)速率、高信噪比、高電流密度等優(yōu)良的電化學(xué)特性。電極位置固定,有利于得到重現(xiàn)性良好的結(jié)果。電解槽的容積小于1PL,可用于精確地限域并檢測(cè)痕量電解液。以上結(jié)果都表明此類器件具備很好的微量痕量檢測(cè)的能力。
聲明:
“電化學(xué)超微組合電極及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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