本申請?zhí)峁┯糜诖_定臨近催化化學(xué)氣相沉積中催化劑的熱變形的裝置及方法,所述裝置包括:在豎直方向上設(shè)置的上下加熱器;用于控制它們升降的電機(jī);設(shè)置在下加熱器表面上的用于安放基底的樣品臺(tái);在樣品臺(tái)和上加熱器之間的水平導(dǎo)軌;在水平導(dǎo)軌上的用于安放催化劑的載板,所述載板和樣品臺(tái)之間是用于臨近催化化學(xué)氣相沉積的反應(yīng)區(qū);設(shè)置在樣品臺(tái)與載板之間的光柵尺;用于檢測催化劑是否與基底接觸的短路檢測裝置和用于控制樣品臺(tái)升降的控制裝置,其中上下加熱器用于對反應(yīng)區(qū)提供適合二維材料生長的溫度。通過利用本實(shí)用新型的裝置,可以確定和判斷催化劑在不同溫度下隨時(shí)間的熱形變量,解決催化劑在高溫下的形變對生長所導(dǎo)致的問題。
聲明:
“用于確定臨近催化化學(xué)氣相沉積中催化劑的熱形變的裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)