本發(fā)明提供一種晶圓暫存裝置及化學(xué)機械拋光設(shè)備,屬于晶圓拋光的技術(shù)領(lǐng)域,晶圓暫存裝置包括:隔水盤、定位柱和位置檢測機構(gòu),定位柱設(shè)有至少三個,在隔水盤上沿圓形間隔分布,定位柱的頂部設(shè)有用于定位晶圓側(cè)邊的定位面,所有的定位面在隔水盤上定位出直徑與晶圓直徑相同的定位圓;位置檢測機構(gòu)也設(shè)有至少三個,沿定位圓間隔分布在隔水盤上,位置檢測機構(gòu)在隔水盤上形成用于判斷當(dāng)前位置是否具有晶圓的檢測點,檢測點位于定位圓的內(nèi)側(cè)。通過定位柱的設(shè)置,能夠?qū)⒕A定位在隔水盤上,并通過判斷每一個檢測點處是否檢測到晶圓的方式,可準(zhǔn)確的判斷晶圓的擺放位姿是否準(zhǔn)確,確保機械手能夠準(zhǔn)確的抓取到晶圓。
聲明:
“晶圓暫存裝置及化學(xué)機械拋光設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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