一種集成電路
芯片制造中化學(xué)品取樣保護(hù)裝置,包括支撐框、抽氣過濾裝置、透明隔離簾和滾輪,所述支撐框為由若干根型材搭建的長方體框架結(jié)構(gòu),于所述支撐框的頂部設(shè)置抽氣過濾裝置,所述抽氣過濾裝置覆蓋由所述支撐框的型材圍成的頂面,且所述抽氣過濾裝置的進(jìn)氣口朝向所述支撐框外部,所述抽氣過濾裝置的出氣口朝向所述支撐框內(nèi)部,于所述支撐框上設(shè)置豎直下垂的透明隔離簾,所述透明隔離簾覆蓋由所述支撐框的型材圍成的側(cè)面,于所述支撐框的底部設(shè)置滾輪。該取樣保護(hù)裝置將取樣的化學(xué)品與廠房內(nèi)的空氣進(jìn)行隔離,保證取樣出來的化學(xué)品不被污染,以便金屬離子檢測的精準(zhǔn)性。
聲明:
“集成電路芯片制造中化學(xué)品取樣保護(hù)裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)