本發(fā)明描述了一種方法，該方法包括生成模擬動態(tài)過程、特定過程步驟或其變體的一組合成樣品，所述動態(tài)過程、特定過程步驟或其變體將被用于開發(fā)多元監(jiān)測校正和過程監(jiān)督控制系統(tǒng)。還描述了為了增強校正模型的準確性和穩(wěn)健性，引入隨機峰值形成的、規(guī)劃峰值形成的、隨機混合并且正交設(shè)計實驗的樣品。該新方法通過如下操作起作用：使用由動態(tài)過程的可用數(shù)據(jù)和質(zhì)量控制數(shù)據(jù)所表達的動態(tài)過程的現(xiàn)有知識，以及使用這些數(shù)據(jù)來構(gòu)建混合物分布曲線，所述分布曲線能夠用于構(gòu)建模擬過程動態(tài)的合成樣品?？梢蕴峁┮环N克服了現(xiàn)有技術(shù)的校正開發(fā)缺陷的新穎方法，該方法包括設(shè)計的模擬動態(tài)過程的合成多成分樣品，以及使用正交設(shè)計實驗或隨機峰值形成或規(guī)劃峰值形成或隨機混合來增強校正模型性能。使用準確地接近真實樣品的基質(zhì)主要成分組成的這些多成分合成樣品，我們已經(jīng)證明了PAT監(jiān)測工具在估計動態(tài)過程狀態(tài)(過程監(jiān)督)方面的新用途。使用制備成跨過過程的多元設(shè)計空間的合成樣品的多參數(shù)分析得到多元過程軌跡，這個能力允許在過程開發(fā)和優(yōu)化期間建立過程監(jiān)督控制策略。