一種包括半透明窗玻璃(220,320,404,516,524,604)的化學(xué)機(jī)械拋光墊(200,300,400,500,600)。該窗玻璃可允許使用從晶圓(212,324,608)或其它正在拋光的物體表面反射的光能進(jìn)行光學(xué)測量,窗玻璃包括一個前端(350,416,632)和一個后端(348,412,628),每個端均為流線型,以便降低對窗玻璃周圍拋光介質(zhì)(216)流動的干擾。拋光墊還可以進(jìn)一步包括在窗玻璃周圍轉(zhuǎn)向的槽(336,428,520,640),以便為拋光介質(zhì)在窗玻璃區(qū)域提供一個連續(xù)的路徑。
聲明:
“具有流線型窗玻璃的化學(xué)機(jī)械拋光墊” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)