本發(fā)明涉及鍍錫板的表征檢測(cè)領(lǐng)域,尤其涉及一種鍍錫板鈍化膜厚度的測(cè)量方法。本發(fā)明包括步驟:(1)試樣的預(yù)處理:(2)確定鈍化膜的表面位置:原位氬離子刻蝕和X射線光電子能譜測(cè)量交替進(jìn)行,分析試樣刻蝕在鍍錫板某深度處的化學(xué)組成及含量,當(dāng)測(cè)量到Cr元素、O元素后確定鈍化膜的表面位置;(3)刻蝕鈍化膜:檢測(cè)到鈍化膜的表面位置后對(duì)試樣繼續(xù)刻蝕,直至鈍化膜已完全刻蝕完,記錄刻蝕時(shí)間(t);(4)計(jì)算鈍化膜厚度:已知標(biāo)準(zhǔn)靶材的刻蝕速度,根據(jù)刻蝕速度與靶材的密度成反比,獲得鈍化膜的刻蝕速度;鈍化膜厚度=刻蝕速度×刻蝕時(shí)間。本發(fā)明能夠快速、準(zhǔn)確地測(cè)量鍍錫板鈍化膜厚度。
聲明:
“鍍錫板鈍化膜厚度的測(cè)量方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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