本發(fā)明提供一種檢驗(yàn)基板的處理方法及處理裝置。處理方法包括:在檢驗(yàn)基板上設(shè)置犧牲膜層;利用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法在所述犧牲膜層上形成檢驗(yàn)?zāi)樱辉趯λ鰴z驗(yàn)?zāi)拥男纬蔂顩r進(jìn)行檢驗(yàn)后,從所述檢驗(yàn)基板上去除所述犧牲膜層,從而使得所述檢驗(yàn)?zāi)优c所述檢驗(yàn)基板分離;回收所述檢驗(yàn)基板。本發(fā)明的方案先在檢驗(yàn)基板上沉積出易于與檢驗(yàn)基板分離的犧牲膜層,之后再使用離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法制作出用于檢驗(yàn)化學(xué)氣象沉積工藝的檢驗(yàn)?zāi)?,在?yàn)證完成后,只需要將犧牲膜層與檢驗(yàn)基板分離,即可重新回收干凈的檢驗(yàn)基板,使得檢驗(yàn)基板可以在下次檢驗(yàn)中繼續(xù)使用,從而節(jié)約了制作成本,因此具有很高的實(shí)用價(jià)值。
聲明:
“檢驗(yàn)基板的處理方法及處理裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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