本發(fā)明涉及了一種單晶硅表面跨尺度減摩抗磨改性方法及表征方法,以N?3?(三甲氧基
硅烷基)丙基乙二胺自組裝在硅表面作為基底連接層,在其表面噴覆1?羧乙基?3?甲基咪唑氯鹽離子液體和1?十二烷基?3?甲基咪唑六氟磷酸鹽離子液體的混合溶液,制備了復合離子液體潤滑薄膜,即對單晶硅表面進行了跨尺度減摩抗磨改性。進一步表征了單晶硅表面跨尺度減摩抗磨性能,采用原子力顯微鏡和超景深顯微鏡分析了樣品的表面形貌;借助紅外光譜儀、X射線衍射儀和接觸角測量儀對化學組分以及潤濕性能進行了表征;采用原子力顯微鏡和往復式微摩擦磨損試驗機分別測試了樣片的微/納摩擦學性能,最后綜合磨痕形貌對跨尺度減摩抗磨機理進行研究。
聲明:
“單晶硅表面跨尺度減摩抗磨改性方法及表征方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)